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爱德华真空泵一级代理商东莞市品雅真空设备有限公司专业从事爱德华真空泵销售和维修,常年现货提供个爱德华真空泵油,爱德华真空泵维修配件,各种爱德华螺杆,罗茨系列真空泵产品,为广大的爱德华真空泵使用者提供后续维护保养工作。
iGX 600N干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
iGX 600M干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套全面的网络选项,可确保泵持续运转。
iGX 1000N泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
功能和优势:
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本最多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的最快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
IGX600系列参数:
峰值速度 | 105 m3h-1 |
62 cfm | |
1750 l min-1 | |
极限压力 | 5.00E-03 mbar |
3.75E-03 Torr | |
0.50 Pa | |
700 Torr 排气压力下的极限 | |
极限 | 1 kW |
AUC(有源设备控制器) | 0.05 kW |
水入口* | 1 slm |
氮 | 4 或 14 slm |
占地面积(不包括排气装置) | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg |
进气口连接 | ISO63 |
出口连接 | NW25 |
极限噪音 | < 55 dB(A) |
东莞市品雅真空设备有限公司专业提供爱德华螺杆真空泵IGX1000N系列产品及维修配件等等!
应用行业:
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀
这个IGX系列干式螺杆真空泵在半导体行业有着广泛的使用,这种系列产品类型众多,从低抽速到高抽速产品覆盖广泛,使用于不同的设备,提供无污染的绿色真空。
订货系列号:
iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54630958
iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54630959
iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54632958
iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54632959
iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54631958
iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54631959
iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54681958
iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54681959
东莞市品雅真空设备有限公司专用维修爱德华螺杆真空泵IGX600系列产品,同时能上门维修EH2600/EH1200等产品
爱德华螺杆真空泵IGX600产品功能与优势:
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。