首先是最简单直观的揩拭法。揩拭法在日常中都很常见。真空系统中的各种表面或部件在应用前或清洗后，用白色的洁净纸巾揩擦，如有污迹，就能直观地看出来。当然这种方法也只能作为定性检查，无法进行更细致地判断。
其次水膜法。这种类似方法在判断玻璃等物件清洗是否彻底中也有应用。就是将零件或试样等放入去离子水中再取出查看，如果表面有一层连续的水膜，就是洁净的，反之水膜破裂，就表面真空系统部件有油污等存在。
试纸法。利用标准G型极性溶液0.1mL，滴在被检表面；再用A型验油纸贴在被检表面上1分钟左右，取下试纸。如果试纸为连续而均匀的红色，就表明表面清洁无油污，反之就是还存在油污染了。
玻璃观测法。这种方法可以检查真空抽气机组是否会对真空室产生油污染，或者是真空室中各种元件产生的污染。简单归纳就是选择几块小玻璃片，清洗干净后，放置于真空室的不同部位，如有污染就会在玻璃表面留下痕迹，通过肉眼就能观察。
以上这些都是一些直观的判断观察方法，如果需要进一步进行定量了解以及分析污染物的成分等，就需要用到检测仪器，如四极质谱计等。
防范于未然，真空泵是一种被广泛应用的设备，那么这种设备是怎么来防治污染的呢?这种设备的功率大吗?下面就来为大家解说下真空泵怎么有效防备污染?
对于真空泵来说，最影响运用功率的莫过于真空污染形成的真空坠落。什么是真空污染?其实即是水蒸气凝结成滴进入泵内混合，能使咱们的真空泵的零部件生锈，进而形成真空坠落。因而，咱们必须对这方面的污染早做处置。
第一种方法是能够选用带有气镇设备的真空泵;
第二种方法是加装油分离器或油水分离器，能够有用处置进入真空泵中的水蒸气，达到防止效果;第三种方法是运用液氮冷阱或者是吸水性强的单调剂有用地吸附水蒸气，从源头解决疑问。
总之，为真空泵的运用安全和功率思考，咱们需要对这方面的问题进行防备。
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