双级旋片真空泵与单级旋片相比,其差异最简单地说,就是双级泵在结构上是由两个单级泵串联而来。因此单级旋片真空泵只有一个工作室,具体结构可以参见上面的文章介绍,而由两个单级泵串联而来的双级旋片真空泵,自然是由两个工作室组成的,两室前后串联,同向等速旋转,具体结构如下图:
双级旋片真空泵
被抽真空室的气体由进气口首先进入到高真空级工作室,当气体压力较高时,再经过高真空级工作室的压缩,气体压力急速增大,这时被压缩的气体有一部分从高真空级排气阀被排出,剩下部分经级间通道进入到低真空级工作室,经低真空级工作室再度压缩,然后从低真空计排气阀排出。如果进入高真空级的气体压力较低,那即使经过第一道压缩也无法打开高真空级排气阀,因此气体会全部经过级间通道进入低真空级工作室,由低真空级继续压缩经低真空级排气阀排出。
理论上一般来讲,单级油旋片真空泵的极限真空度是50pa,双级油旋片真空泵是1pa以下。
如果用盘式相对真空表来测量的话,这种表一方面精度很差(从单位就可以发现,MPA),而且受温度和海拔高度影响也非常大,所以无法读出准确的真空值。
如果楼主实在想知道这2种泵的极限真空度,可以用绝对压力表来测量。这种表不受温度和海拔高度的影响,准确度非常高,价格也高。
下图为用MKS绝对真空计测量莱宝D30C(一个30立方每小时抽速的双极油旋片真空泵),维修后实测可以达到0.8pa
单级双级旋片真空泵的抽气原理一样,理论极限真空一样,你的问题在于新泵和老泵的抽速是否一样,抽真空是一个动态平衡,就像是空调制冷,1P和3P功率的空调制冷都能设定到16°,但是同样对一个房间制冷,3P的能把房间温度降到16°,1P的功率可能就不够。
为此在基本原理上双级旋片真空泵与单级旋片真空泵并无差别,结构形式上使双级旋片真空泵的排气压缩比要高于单级旋片泵,因此双级旋片真空泵的极限真空度要高于单级旋片真空泵。
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