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Edwards爱德华真空泵在半导体刻蚀设备中的应用
[ 2020-07-20 ]
1.半导体离子束刻蚀机的组成
离子束刻蚀机由真空室、工作台、快门、真空抽气系统、供气系统、水冷系统、电源和 电器系统等主要部分组成。该机在正常工作时,首先将真空室的压力抽至2×10-3Pa或更低,再调节Ar气流量,使真空室压……
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真空泵碳片的作用及安装注意事项
[ 2020-07-20 ]
真空泵碳片又名真空泵碳精片,真空泵碳片制造材质为石墨材料碳粒子加工制造而成。那么真空碳片有什么用呢,让我们一起来了解一下真空碳片吧。
我们常说的真空泵叶片多为油式真空泵使用, -般采用树脂玻璃纤维加工而成,适用于油……
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罗茨真空泵运行的因素和转速不能过高的原因
[ 2020-07-18 ]
罗茨真空泵的结构优势：
1.泵腔内无需加油密封和润滑，可减少真空系统被油蒸气污染
2.泵腔中没有压缩和排气阀。简单紧凑的结构，对泵送粉尘和水蒸气不敏感
3.压缩率低，对氢气的抽吸效果差
4.在较宽的压力范围内有较大的抽速……
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罗茨真空泵运行的因素和转速不能过高的原因
[ 2020-07-17 ]
罗茨真空泵的结构优势：
1.泵腔内无需加油密封和润滑，可减少真空系统被油蒸气污染
2.泵腔中没有压缩和排气阀。简单紧凑的结构，对泵送粉尘和水蒸气不敏感
3.压缩率低，对氢气的抽吸效果差
4.在较宽的压力范围内有较大的抽速……
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探讨下爱德华真空泵油70#的作用和组成
[ 2020-07-17 ]
在导热油泵使用的过程中,由于爱德华真空泵油70#直接进入泵体内腔，在真空泵运行时，随着气体压强的逐渐降低，泵温的逐渐升高。真空泵油油品中饱和蒸汽压高的分子组分就能蒸发到真空的空间，即影响真空泵极限压强的达到，又可……
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真空应用中简单判断清洗后是否还存在污染
[ 2020-07-16 ]
首先是最简单直观的揩拭法。揩拭法在日常中都很常见。真空系统中的各种表面或部件在应用前或清洗后，用白色的洁净纸巾揩擦，如有污迹，就能直观地看出来。当然这种方法也只能作为定性检查，无法进行更细致地判断。
其次水膜……
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如何解决罗茨旋片真空机组管道堵塞问题？
[ 2020-07-15 ]
罗茨旋片真空机组气体输送管道中物料的流动状态实际上复杂多变，物料颗粒有时会从气流中分离出来，或者沉降在管底形成料团;或者黏附于管壁上并逐渐增厚。一旦在某个局部管段堆积的料团发展到充塞于整个管道戴向。而又滞留不……
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真空泵电机轴承坏了如何拆卸？
[ 2020-07-14 ]
轴承是真空泵中的重要部件之一，如果它出现了故障，会影响到泵的正常运行以及使用寿命。
1、真空泵的轴承装配不合理。将轴承和轴重装，或者更换轴承。
2、泵内有摩擦或叶轮失去平衡。应消除摩擦或更换新叶轮。
3、润滑不好。……
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莱宝、爱德华罗茨真空泵的7大优点
[ 2020-07-13 ]
罗茨真空泵（简称：罗茨泵）是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。
莱宝、爱德华罗茨真空泵的7个优势，选择罗茨真空泵是因为这些罗茨真空泵与其它类……
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普通旋片真空泵与干式旋片真空泵的区别
[ 2020-07-13 ]
旋片真空泵常见的多为油封泵，今天我们就来了解下干式旋片真空泵与普通旋片真空泵的区别。
旋片真空泵是一种很普遍的中小型真空获得设备，它的一些基本原理旋片式真空泵主要由泵体、转子、旋片、旋片弹簧以及端盖等组成。……
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泵的9次校中心，你都知道吗？
[ 2020-07-11 ]
当告诉人们应该对泵的中心校准9次时，会看到一些有趣的表情。以下介绍一下这9次校中心。
第1次校中心：
当泵未出厂之前，通常驱动装置放在底座上，并进行“粗对准”，以确保最终可以在现场进行精确的校中心。这种情况可能会有……
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阿特拉斯干式真空泵在半导体行业应用时注意事项
[ 2020-07-10 ]
干式真空泵种类很多，如果按照工作原理分类的话，可分为两类：容积式干式真空泵和动量传递式干式真空泵。这两类的干式真空泵，各自的特点又有哪些呢？ 一般干式真空泵的特点为：清洁；安全；耐磨；造价低；维修方便；性能稳……
