爱德华半导体螺杆真空泵IH600维修保养，爱德华半导体螺杆真空泵IH1000，江苏爱德华半导体螺杆真空泵IH600，全国一级代理商爱德华半导体螺杆真空泵IH600，现货供应爱德华半导体螺杆真空泵IH600维修配件，全国上门保养爱德华半导体螺杆真空泵IH600，欢迎来电咨询：13826954831 杨生
爱德华真空泵IH600/IH1000在半导体行业有着广泛的使用，一般是配合罗茨型真空泵EH2600使用，可以更快的为客户提供所需真空，同时螺杆真空泵在处理水分和小型颗粒，腐蚀性气体非常合适。
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH600/1000 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
爱德华真空泵针对不同的行业，推出不同的真空泵配型，不同的行业，由于使用环境和工作运行状态不同，需要的产品性能不同，因此爱德华真空泵产品类型众多，没一款产品都是针对不同的行业使用有着非常明显的效果，在高真空和超高真空领域有着非常强大的领导地位。
行业应用：
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
IH600订货号：
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
爱德华半导体螺杆真空泵IH600性能参数：
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 极限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO100 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 极限功率输入 | 3.4 kW |
| 电机额定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
IH1000性能参数：
| 峰值速度 | 1000 m3h-1 |
| 589 cfm | |
| 16670 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO100 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 430 kg |
| 极限功率输入 | 3.8 kW |
| 电机额定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.48 l |
iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59030957
