质谱分析仪一般选用的真空泵是爱德华 E2M0.7、E2M1.5 这2款型号，真空泵使用到一定的时间要做保养与维修。
质谱真空泵必须由接受过适当培训的技术员来维护，确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉，做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度，断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外。维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向。O型圈和垫圈如果损坏不可重复利用。
在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害，维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封。不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂。
一、检查前置真空泵油位：
根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与
二、电源的连接。
1、透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在z*低限以上，z*高限以下。
2、如果油位在z*低限或低于z*低限，打开加油孔，加油至z*高限，如加得过满可从出口放掉点。
3、如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
三、更换前置真空泵油：
1、开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来)。
2、断开泵和电路及真空系统的连接。
3、取下加油孔的塞子。
4、将泵放在一个适当的支撑物(如：凳子)上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中。
5、油受到污染时：
（1）取下加油孔的塞子，倒进干净的油。
（2）重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。
（3）断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。
（4）重复上述步骤直到将泵清洗干净。
6、塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
7、装上新油，直到油位达到MAX位置附近。
8、等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。
四、检查和清洁前置真空泵入口过滤器
1、旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。
2、用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。
3、重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。
五、清洁前置真空泵载气滤网：
1、取下固定垫圈。
2、取下金属丝网及滤头元件。
3、用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上。
4、重新固定好固定垫圈。
六、清洗马达风扇周围：
1、关掉真空泵，断开其与电源的连接。
2、利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物。
！注意:如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。
